Single Crystal Silicon Ingot Featured Image

Монокристаллический слиток кремния

Описание

Монокристаллический слиток кремнияis обычно выращивают как большой цилиндрический слиток с помощью точных технологий легирования и вытягивания Czochralski CZ, методов Czochralski MCZ, индуцированных магнитным полем, и методов FZ с плавающей зоной.Метод CZ наиболее широко используется для выращивания кристаллов кремния из крупных цилиндрических слитков диаметром до 300 мм, используемых в электронной промышленности для изготовления полупроводниковых приборов.Метод MCZ представляет собой разновидность метода CZ, в котором магнитное поле, создаваемое электромагнитом, позволяет достичь сравнительно низкой концентрации кислорода, более низкой концентрации примесей, более низкой дислокации и равномерного изменения удельного сопротивления.Метод ФЗ позволяет получить высокое удельное сопротивление выше 1000 Ом-см и высокую чистоту кристалла с низким содержанием кислорода.

Доставка

Слиток монокристаллического кремния CZ, MCZ, FZ или FZ NTD с проводимостью n-типа или p-типа в корпорации Western Minmetals (SC) может поставляться диаметром 50 мм, 75 мм, 100 мм, 125 мм, 150 мм и 200 мм (2, 3). , 4, 6 и 8 дюймов), ориентация <100>, <110>, <111> с поверхностью, заземленной в упаковке из пластикового пакета внутри и картонной коробки снаружи, или в соответствии с индивидуальной спецификацией для достижения идеального решения.

Запрос сейчас

Подробности

Монокристаллический слиток кремния CZ, MCZ, FZ или FZ NTDс проводимостью n-типа или p-типа в корпорации Western Minmetals (SC) могут поставляться диаметром 50 мм, 75 мм, 100 мм, 125 мм, 150 мм и 200 мм (2, 3, 4, 6 и 8 дюймов), ориентация <100 >, <110>, <111> с поверхностью, заземленной в упаковке из пластикового пакета внутри и картонной коробкой снаружи, или в соответствии с индивидуальной спецификацией для достижения идеального решения.

Нет.	Предметы	Стандартная спецификация
1	Размер	2", 3", 4", 5", 6", 8", 9,5", 10", 12"
2	Диаметр мм	50,8-241,3 или по требованию
3	Метод роста	ЧЗ, МЦЗ, ФЗ, ФЗ-НТД
4	Тип проводимости	P-тип / легированный бором, N-тип / легированный фосфидом или нелегированный
5	Длина мм	≥180 или по мере необходимости
6	Ориентация	<100>, <110>, <111>
7	Удельное сопротивление Ом-см	Как требуется
8	Содержание углерода а/см³	≤5E16 или по мере необходимости
9	Содержание кислорода а/см³	≤1E18 или по мере необходимости
10	Загрязнение металла а/см³	<5E10 (Cu, Cr, Fe, Ni) или <3E10 (Al, Ca, Na, K, Zn)
11	Упаковка	Полиэтиленовый пакет внутри, фанерный корпус или картонная коробка снаружи.

Символ	Si
Атомный номер	14
Атомный вес	28.09
Категория элемента	Металлоид
Группа, Период, Блок	14, 3, П
Кристальная структура	Алмаз
Цвет	Темно-серый
Температура плавления	1414°С, 1687,15 К
Точка кипения	3265°С, 3538,15 К
Плотность при 300К	2,329 г/см³
Собственное сопротивление	3,2E5 Ом-см
Количество CAS	7440-21-3
Номер ЕС	231-130-8

Монокристаллический слиток кремния, когда он полностью выращен и квалифицирован, его удельное сопротивление, содержание примесей, совершенство кристалла, размер и вес шлифуется с помощью алмазных кругов, чтобы сделать его идеальным цилиндром до нужного диаметра, а затем подвергается процессу травления для удаления механических дефектов, оставшихся в процессе шлифования. .После этого цилиндрический слиток разрезается на блоки определенной длины и получает надрез и первичную или вторичную плоскость с помощью автоматизированных систем обработки пластин для выравнивания для определения кристаллографической ориентации и проводимости перед последующим процессом нарезки пластин.